生产半导体对于厂房洁净度要求很高，特别是在芯片制造环节，环境的洁净度直接关系到产品的良率。实现无污染的半导体制造对于减少缺陷和良率损失以及提高设备的可靠性是至关重要的。为了确保洁净室洁净度符合相关要求，需要选择合适的洁净室悬浮粒子检测仪器。
01 选择粒子计数器的关注点
1. 粒径尺寸各种尺寸的尘埃颗粒，都会影响到半导体的良率。半导体制造行业在选择粒子计数器时，首先需要考虑的就是合适尺寸的粒径通道，例如0.1 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm、1.0 μm和5.0 μm。2.灵敏度和准确性半导体制造洁净室对尘埃粒子的检测要求很高，粒子计数器应具有高灵敏度和准确性。高灵敏度意味着粒子计数器能够检测到极低浓度的颗粒，这对于确保产品质量和生产过程的可靠性至关重要。准确性则要求计数器在长时间运行过程中保持稳定，避免出现误报或漏报的情况。3.操作简便性与维护对于使用者来说，粒子计数器操作的简便性非常重要。易于操作、界面友好的计数器可以降低操作难度，提高工作效率。另外，维护的便捷性也是需要重点关注的，易于清洁和维护的设计，可以减少停机时间和维修成本。
02 众瑞0.1μm粒子计数器
更新时间：2024-09-13
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